紅外增透保護(hù)薄膜的研究及應(yīng)用

針對(duì)機(jī)載紅外搜索跟蹤系統(tǒng)和彈載紅外精確制導(dǎo)系統(tǒng)對(duì)紅外增透保護(hù)薄膜技術(shù)的迫切需求，基于使役環(huán)境和薄膜光學(xué)要求進(jìn)行膜系優(yōu)化設(shè)計(jì)，采用過(guò)濾陰極真空電弧、磁控濺射等技術(shù)制備非晶金剛石、非晶碳化鍺、磷化物、氧化物等薄膜材料，利用多種表征方法分析薄膜的鍵合結(jié)構(gòu)、光學(xué)和力學(xué)性能，確定結(jié)構(gòu)和性能的精細(xì)調(diào)控方法，強(qiáng)化膜系與基底結(jié)合，研究大尺寸平面/半球面膜系的均勻沉積方法，最終獲得滿足服役要求的紅外窗口/整流罩增透保護(hù)膜。

本工作揭示了紅外增透保護(hù)膜的氣動(dòng)熱/力失效機(jī)制，提出抗氣動(dòng)熱/力失效多光譜紅外增透保護(hù)膜的概念和利用反濺輔助實(shí)時(shí)強(qiáng)化紅外增透保護(hù)膜的方法，建立大口徑紅外窗口/整流罩增透保護(hù)膜系及其制備方法的成套技術(shù)，成功應(yīng)用于某機(jī)載和彈載光電部件，在解放軍某廠實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，獲國(guó)家技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)。本報(bào)告將綜述哈爾濱工業(yè)大學(xué)的相關(guān)研究成果，并展望紅外增透保護(hù)薄膜技術(shù)的未來(lái)發(fā)展趨勢(shì)。