光譜儀用CCD

2013-05-13 admin1

CCD,是英文Charge Coupled Device 即電荷耦合器件的縮寫,它是在MOS晶體管電荷存儲(chǔ)器的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,最突出的特點(diǎn)是以電荷作為信號(hào),而不是以電流或電壓作為信號(hào)的。

光譜儀用CCD

(圖源網(wǎng)絡(luò)僅供參考,侵刪)


在P型或N型硅單晶的襯底上生長(zhǎng)一層厚度約為120~150nm的SiO2層,然后按一定次序沉積m行n列個(gè)金屬電極或多晶硅電極作為柵極,柵極間隙約2.5μm,于是每個(gè)電極與其下方的SiO2和半導(dǎo)體間構(gòu)成了一個(gè)MOS結(jié)構(gòu),這種結(jié)構(gòu)再加上輸入、輸出結(jié)構(gòu)就構(gòu)成了m*n位CCD(m>1,n≥1);當(dāng)n=1時(shí),CCD器件被稱為線陣CCD;當(dāng)n>1時(shí),則為面陣CCD。


CCD按受光方式分為前感光和背感光兩種。前感光CCD由于正面布置著很多電極,光經(jīng)電極反射和散射,不僅使得響應(yīng)度大大減低(量子效率通常低于50%),也因?yàn)槎啻畏瓷洚a(chǎn)品的干涉效應(yīng)使光譜響應(yīng)曲線出現(xiàn)馬鞍形的起伏;背感光CCD由于避免了上述問(wèn)題,因而響應(yīng)度大大提高,量子效率可達(dá)到80%以上。

 

● CCD的重要性能參數(shù):

◆ 量子效率

量子效率是表征CCD芯片對(duì)不同波長(zhǎng)的光信號(hào)的光電轉(zhuǎn)換本領(lǐng)的高低,是CCD的一個(gè)重要參數(shù)。


◆ 動(dòng)態(tài)范圍

一般定義動(dòng)態(tài)范圍是滿阱容量與噪聲的比值。增大動(dòng)態(tài)范圍的途徑是降低暗電流和噪聲,如采用制冷型CCD,或選擇量子效率更高、像素尺寸更大的CCD。


◆ 噪聲

CCD的噪聲包含信號(hào)噪聲、讀出噪聲和熱噪聲。

1、信號(hào)噪聲是指信號(hào)的隨機(jī)噪聲。

2、讀出噪聲是電荷轉(zhuǎn)移時(shí)產(chǎn)生的噪聲,它發(fā)生在每次電荷轉(zhuǎn)移過(guò)程中,因此與讀取的速度有關(guān),讀取速度越快,讀出噪聲也越高。

3、熱噪聲是溫度引起的噪聲,溫度越低,熱噪聲越小。


◆ 分辨率

面陣CCD的分辨率一般是指空間分辨率,它主要取決于CCD芯片的象元數(shù)和像素大小。

當(dāng)CCD與光譜儀配合使用來(lái)進(jìn)行光譜攝制時(shí),其光譜分辨率則與光譜儀的光學(xué)色散能力以及CCD芯片的像素大小都有關(guān)系。


◆ 線性度

線性度是表征CCD芯片中的不同像元對(duì)同一波長(zhǎng)的輸入信號(hào),其輸出信號(hào)強(qiáng)度與輸入信號(hào)強(qiáng)度成比例變化的一致性。


◆ 讀出速度(幀數(shù))

讀出速度是用來(lái)表征單位時(shí)間內(nèi)處理數(shù)據(jù)速度的快慢的參數(shù)。讀出速度越快,單位時(shí)間內(nèi)獲得的信息越多;但同時(shí)要注意,讀出速度越快,讀出噪聲越高。


◆ 制冷方式

CCD的制冷方式主要有半導(dǎo)體(TE)制冷和液氮制冷。

標(biāo)簽: 光譜儀 CCD