光學(xué)玻璃拋光技術(shù)
(1) 浴法拋光:浴法拋光是指工件和拋光盤都浸在拋光液中,所用裝置示意圖拋光液的深度以設(shè)備靜止時(shí)淹沒工件 10~15mm 為宜,攪拌器是使拋光液處于懸浮狀態(tài),不產(chǎn)生沉淀,拋光玻璃時(shí)一般使用氧化鐵(紅粉)、氧化鋁等拋光材料。
(2) 離子束拋光:離子束拋光是玻璃工件在傳統(tǒng)拋光后,用來進(jìn)一步提高拋光精度的補(bǔ)充拋光方法。先在真空(1.33Pa)條件下,將惰性氣體(氬、氪、氙等)原子使用高頻或放電等方法使之成為離子,再用20~25kV的電壓加速,然后碰撞到位于1.33×10 Pa真空度的真 空室內(nèi)的被加工工件表面上,將能量直接傳給工件材料原子,使其逸出表面而被去除。這種方法可以使工件去除厚度達(dá)10~20μm,是典型的用物理碰撞方法進(jìn)行的拋光技術(shù),一般情況下表面粗糙度可達(dá)0.01μm,精度高的達(dá)0.6nm。
(3) 等離子體輔助拋光:等離子體輔助拋光是利用化學(xué)反應(yīng)來去除表面材料而實(shí)現(xiàn)拋光的方法,采用特定氣體,制成活性等離子體,當(dāng)活性等離子體與工件表面作用,發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成易揮發(fā)的混合氣體,從而將工件表面材料去除。由于玻璃研磨時(shí),機(jī)械作用是主要的,所以磨料的硬度必須大于玻璃的硬度。 光學(xué)玻璃和日用玻璃研磨加工余量大,所以一般用剛玉或天然金剛砂研磨效率高。平板玻璃的研磨加工余量小,但面積大,用量多,一般采用價(jià)廉的石英砂。
常用拋光材料有紅粉(氧化鐵)、氧化鈰、氧化鉻、氧化鋯、氧化釷等,日用玻璃加工也有采用長石粉的。光學(xué)產(chǎn)品新型拋光技術(shù)對于光學(xué)玻璃加工,傳統(tǒng)的研磨及拋光方法,從精度和效率方面已不適應(yīng)。目前發(fā)展了許多新的加工技術(shù),如數(shù)控研磨和拋光技術(shù)、離子束拋光技術(shù)、應(yīng)力盤拋光技術(shù)、超光滑表面加工技術(shù)、延展性磨削加工、彈性發(fā)射拋光法、激光拋光、震動(dòng)拋光等,這些新技術(shù),已完全適應(yīng)光學(xué)領(lǐng)域迅猛發(fā)展的要求。光學(xué)透鏡新的加工技術(shù),都邊檢測、邊修正,不僅加工精度高,而且加工速度提高幾倍到幾十倍,對人工技術(shù)的依賴性已很小,新研磨和拋光技術(shù)的智能化程度都很高,重復(fù)精度高。數(shù)控研磨和拋光、應(yīng)力盤拋光技術(shù)等,專門針對球面和 非球面光學(xué)透鏡的加工,非常專業(yè)化。