平面度測量通常用的幾種方法

　　平面度（flatness;planeness)，是屬于形位公差中的一種，指物體表面具有的宏觀凹凸高度相對理想平面的偏差。在傳統(tǒng)的檢測方法中，平面度的測量通常有：塞規(guī)/塞尺測量法、液平面法、激光平面干涉儀測量法（平晶干涉法）、水平儀/數(shù)字水平儀測量法、以及打表測量法。

　　塞尺測量法，只需一套可隨身攜帶的塞尺就可隨時隨地進(jìn)行平面度的粗測。目前很多工廠仍使用該方法進(jìn)行檢測。由于其精度不高，常規(guī)最薄塞尺為10um，檢測效率較低，結(jié)果不夠全面，只能檢測零件邊緣。

　　液平面法，基于連通器工作原理，適合測量連續(xù)或不連續(xù)的大平面的平面度，但測量時間長，且對溫度敏感，僅適用于測量精度較低的平面。

　　激光平面干涉儀測量法，最典型的用法是平晶干涉法。但主要于測量光潔的小平面的測量，如千分頭測量面，量規(guī)的工作面，光學(xué)透鏡。

　　水平儀測量法，廣泛用于工件表面的直線度和平面度測量。測量精度高、穩(wěn)定性好、體積小、攜帶方便。但是用該方法測量時需要反復(fù)挪動儀器位置，記錄各測點的數(shù)據(jù)，費(fèi)時、費(fèi)力，調(diào)整時間長，數(shù)據(jù)處理程序繁瑣。

　　打表測量法，典型應(yīng)用為平板測微儀及三坐標(biāo)儀，其中優(yōu)以三坐標(biāo)儀為應(yīng)用最廣泛。測量時指示器在待測樣品上移動，按選定的布點測取各測量點相對于測量基準(zhǔn)的數(shù)據(jù)，再經(jīng)過數(shù)據(jù)處理評定出平面度誤差。但其效率較低，通常一個樣品需要幾分鐘，離15ppm的期望相差甚遠(yuǎn)。