激光全息光刻法制作光子晶體LED

2013-06-22
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激光全息光刻技術(shù)利用光的干涉衍射特性,通過(guò)特定的光束組合方式,來(lái)調(diào)控干涉場(chǎng)內(nèi)的光強(qiáng)度分布,并用感光材料記錄下來(lái),從而產(chǎn)生光刻圖形。